该晶圆的种植厂座落在苏北东南部,大部分的种植85英寸半导体设备晶圆,平均废液废气量约800吨。因此的种植全过程中食用大量的氢氧化钠做出晶圆蚀刻,促使废液中氟化物氨水浓度高达独角兽200-300mg/L,远超我国废气原则(10mg/L以下的)。
废液化学物质及渠道
生产废水大部分来源于八个各个环节:
晶圆蚀刻生产工艺
:含减阻剂值氟化物(HF)、盐酸及小量血本属
检查是否机械化打蜡 (CMP)生产废水
:含納米级硅粒子、有机物络合剂
设备清晰废水处理方法
:含异丙醇、高锰酸盐指数等有机质物
操作加工流程步骤
使用"无机化学沉积+混凝土沉积+层次过滤体系"一级处理体系:
一层除理
:污泥脱水氯化钙和氢氧化的钙,生成氟化钙沉垫,氟化物清除率达85%
特殊清理
:增添PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚炳烯酰胺),彻底清除橡胶胶体部分态污染问题物
三类正确处理
:经过多媒质油烟净化器器和吸出性炭吸出,喷水氟化物浓硫酸浓度平稳在8mg/L下
关键的主设备也包括:pH半自动调准系统软件、斜管乳浊液池、板框板框压滤机(污泥处理脱水等)。
结果是结果
顶目开机运行六年监测站数据报告表示:
氟化物差不多有机废气浓度:7.2mg/L(少于发展中国家行业标准的)
COD剔除率:92%
淤泥含水量率:≤65%
年收旧氟化钙副产的约150吨,推动自然循环经济进行