重庆某光电器件心片创造厂,晶圆工作全过程中发生含硅、氟的异常污水,方案办理规模化1200吨/日。污水组成复杂性,有效纳米级级硅粉末及氢氧化钠,普通办理步骤根本无法符合标准。
工业废水的成分及源于
主要是的污染物质
:溶液硅(100-500nm孔径)、氟阴离子(200-300mg/L)、异丙醇
源头工艺程序
:晶圆刻蚀污水(45%)、CMP电学设配抛光处理污水(40%)、设配清洗道路水(15%)
治疗工艺设计工作流程
不断创新采用了"化学物质悠长岁月中+特殊膜溶合"技能路经:
钙盐奠定
:加药氯化钙除去氟铝离子(制成CaF2沉淀出的)
斜板沉淀池反应迟钝
:复合型斜板沉淀池剂保证 悬浊液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm粒径膜截流微细颗粒物
反侵入系统化
:脱盐率>98%,收废率75%
蒸馏晶体
:浓水段实现目标氟化物零释放
决定功能
氟化物密度:<8mg/L(不高于地方二级原则10mg/L)
硅含铁:<5mg/L
水市场工业废水处理率:70%应用在放凉塔补湿
垃圾减药:蒸馏渣子量较传统的工艺技术减低60%