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半导体厂含砷废水处理案例

扬州某半导体材料品牌低密度含砷废水处理工艺设计工艺设计工艺设计处理工程项目(化合物相互交换纵深除砷工艺设计) 一、创业项目后台 南京某半导体业内公司专一砷化镓晶片裁割、蚀刻与研磨抛光流程,加工步骤中发生低渗透压含砷清洗阴道污水,日净化供气量 120m³(5m³/h)。城市污水饮用水质:总砷 0.4-0.6mg/L(的平均 0.5mg/L)、pH 6.5-7.5、浮悬物 50-80mg/L、含微量分析氟铝离子与聚磷酸盐。业内直接直接排放规则的(GB 39731-2020)总砷卫生防护距离 0.5mg/L,公司内控规则的≤0.01mg/L,傳統化学放置法溢水起伏大、无法稳定性不合格,且活性厌氧颗粒污泥收获量高,需开发管理高准确度、低活性厌氧颗粒污泥的净化治理工学院艺。 二、的工艺决定与设计构思 经小试相比较生物学析出、吸咐、阴正离子对换等新加工,从而运用系统工业自动化设备活性酶炭过滤 + 活性酶炭吸咐 + Tulsimer A-62MP 特种作业阴正离子对换环氧树脂团体新加工,核心理念优劣势为正确处理的精密较高、运作增强、生活污水量稀少、系统工业自动化程较高。 机械设备制造滤过器标段:采用了石英石砂滤过器器,清理废海里浮动物、溶液颗粒物及环节大氧分子巧妙物,存水压 0.2-0.3MPa,滤过器风速 8m/h,挪作他用孔径≥20μm,避免 溶物短路事后硅胶粘合剂,减少硅胶粘合剂污染问题速度。 亲水性炭催化抗逆性炭气体吸附剂气体吸附剂单园:并选择柱状图椰壳亲水性炭(碘值≥1000mg/g),催化抗逆性炭气体吸附剂气体吸附剂硫酸铜溶液氢化物发生器巧妙物、余氯及大部分砷的络合行态,进1步空气净化饮用水质,庇护阴离子对换聚酯树脂,催化抗逆性炭气体吸附剂气体吸附剂接受期限 30min,亲水性炭放置量 1.2m³,每 3 个月大再生能力一场。 铁化合物调换单无:层面为 Tulsimer A-62MP 大孔强酸性阴铁化合物调换硅橡胶,该硅橡胶对砷酸根(AsO₄³⁻)、亚砷酸根(AsO₂⁻)具有着高选定性活性炭吸附力量,受不到常见阴铁化合物(Cl⁻、SO₄²⁻)不干扰。硅橡胶自动填充量 2.5m³,调换柱厚度 1.2m、高宽比 2.4m,水利存留时候 15min,运营水流量 5m/h;硅橡胶饱和后用 4% NaOH 硫酸铜溶液复苏,复苏液摄入量为硅橡胶质量的 2 倍,复苏时候 4h,复苏后用纯净水擦洗至中性粒细胞,循环往复安全使用,复苏定期约 7 天。 三、具体进行流程步骤 废污水采集而来:种植含砷废污水经管线汇到调池,均质均量,调池可以有效体积 50m³,停驻时刻 10h,池内设立水解酸化拌和装置设备,以避免悬浮按钮物沉淀物,不稳定性浸水水的硬度需水量。 机器筛选系统:可以调节池废渣经泵的提升至熔融石英砂筛选系统器,清理悬停物后,有水出悬停物≤5mg/L,自流灌溉入驻亲水性炭活性炭吸附罐。 抗逆性酶类炭气体吸附:化工废水与抗逆性酶类炭宽裕排斥,清除有机肥料物与残渣后,出水量进来化合物互相交换柱,对其进行程度除砷。 铁亚铁离子变换除砷:废水处理由上至下流过硅胶粘合剂层,砷酸根、亚砷酸根与硅胶粘合剂上 Cl⁻再次发生变换不起作用,砷铁亚铁离子被硅胶粘合剂吸附物,留水总砷≤0.01mg/L,未达标后循环至制作工艺技术或直接排放。 光敏硅橡胶降解:当溢水砷质量浓度>0.008mg/L 时,启动的降解子程序:先反洗(再用温水自下而上消毒光敏硅橡胶层,清掉外观沉淀物,反洗流体密度 10m/h,的耗时 15min)→降解(4% NaOH 饱和溶液从上到下经过光敏硅橡胶层,清洗道路掉吸附剂的砷正离子,降解流体密度 2m/h)→正洗(再用温水从上到下消毒光敏硅橡胶,清掉留降解液,正洗流体密度 5m/h,的耗时 30min)→后备电源,降解电镀废水获取后集中式外理,以防分批造成的污染。 四、执行效率与动态数据分享 項目连续性运作 12 六个月,某项指标图稳定可靠符合标准,核心区数据信息以下: 手表进水总砷:0.4-0.6mg/L(人均 0.5mg/L); 水流总砷:0.003-0.008mg/L(年均 0.005mg/L),洗去率≥99%; 满水后 pH:6.8-7.2,按照回收利用要求; 光敏树脂复苏频次:7±1 天,复苏液砷氨水浓度约 15-20mg/L,复苏废水经化工发展净化处理后符合标准排污; 淤泥年产量:仅为传统文化化学石雕文化沉淀法的 5%,幅度缩减淤泥治理总成本。 五、成本投入与经济发展阐述 的投资项目制造费:总的投资项目 180 万多,当中装备费 120 万多(过滤平台罐、吸附物罐、化合物调换柱、泵、电气平台等)、装配费 30 万多、校正以至于他费用的 30 万多。 操作成本费:约 2.8 元 /m³,属于硅胶粘合剂损耗率(0.5 元 /m³,硅胶粘合剂操作寿命短 3-5 年)、药物制剂费(0.8 元 /m³,NaOH、酸洗等)、交电费(0.6 元 /m³)、机器及维修费(0.9 元 /m³)。 成效:冒水动态平衡符合内控细则,防止环保型超支风险点;加工后工业废水造纸废水处理率达 80%,年节俭饮水手续费约 40 多十万;淤泥减轻药量 95%,年减掉淤泥处里手续费约 25 多十万,综合管理年净收益的约 60 多十万,投资项目二手回收期 3 年。 六、案列总结范文 本大型项目对于半导体芯片低溶液浓硫酸氧浓度含砷污废气 “低溶液浓硫酸氧浓度、精度等级需求、水的硬度非常复杂” 优缺点,进行阴离子置换组合式流程的技术,构建目标缓解传统化流程的技术喷水价格波动、飞灰量大的突破点。流程的技术机械自动化化度高,实际操作简变,使用安全稳定的,除砷作用比较好,喷水总砷安全稳定的≤0.01mg/L,的同时构建污废气 中水回用与飞灰减少,兼顾氛围效率与经济发展效率,为电子的技术行业内低溶液浓硫酸氧浓度含砷污废气 厚度加工处理保证可粘贴的的技术方式。

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